小型溫控蒸發(fā)鍍膜儀

TN-1700X-SPC-2

1.本設(shè)備采用石英腔體，易于清潔和樣品的放入；
2.樣品臺可以旋轉(zhuǎn)，鍍膜效果能夠更加均勻；
3.采用鎢絲作為發(fā)熱源，*高溫度可達(dá)到1700℃，并配有專用的氧化鋁舟裝載樣品（僅1600oC以下使用，若蒸發(fā)溫度大于1600oC，樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中）；
4.并且可將設(shè)備轉(zhuǎn)換到手動調(diào)節(jié)狀態(tài)，內(nèi)部不安裝熱電偶，直接采用手動調(diào)節(jié)輸出電流大小，發(fā)熱源溫度可達(dá)2000oC，可達(dá)到對樣品鍍碳等實(shí)驗(yàn)要求。
5.可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。
6.進(jìn)氣口配有針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。

• 供電電壓 AC220V，60Hz
• *大功率 800W
• 樣品臺 直徑φ50mm；可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5rpm；與蒸發(fā)源間距可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm
• 石英腔體 O.Dφ180mm x I.Dφ166mm x 235mm
• *高溫度 1700℃
• 熱電偶 S型熱電偶，工作溫度200℃~1500℃
• 真空計(jì) 電子式真空計(jì)
• 真空接口 KF16
• 進(jìn)氣接口 1/4NPS
• 真空泵 雙極旋片真空泵