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分子泵日常維護(hù)與維修
1更換潤(rùn)滑油
2.1渦輪分子泵
新泵初次運(yùn)行1000小時(shí)后,即應(yīng)更換潤(rùn)滑油;
通常,經(jīng)過(guò)初次換油后,正常運(yùn)行的泵一年換油一次;
更換潤(rùn)滑油方法:
泵體上下軸承處,各有一個(gè)注油孔和個(gè)出油孔,將兩個(gè)注油孔(位置偏上)和兩個(gè)出油孔(位置偏下)螺打卸下,水平擱置泵,使注油孔朝上,用注射器將大約2x6m1的油分別主入兩個(gè)油孔內(nèi),從另一側(cè)流出的油不得再用,將4個(gè)M5油孔專用螺釘擰好,甩吸油紙吸凈泵殼上殘余的油,即完成潤(rùn)滑油更換。
警告:
安裝油孔爆釘時(shí), 注意螺釘上的黑色O形密封圈應(yīng)擰緊、壓實(shí)、避免漏氣。
2.2口徑大于等于160的泵
新泵初次運(yùn)行1000小時(shí)后,即應(yīng)更換潤(rùn)滑油;
常規(guī)運(yùn)行中,分子泵一年內(nèi)運(yùn)行時(shí)間少于4000小時(shí)的,一年更換一次;一年內(nèi)運(yùn)行時(shí)間多于 4000小時(shí)的,每運(yùn)行 4000小時(shí)必須換油一次。
如果泵經(jīng)常烘拷成大負(fù)載工作或勵(lì)儒預(yù),觀察到潤(rùn)滑油漫濁或明顯變色.則需立即更換潤(rùn)滑油。
更換潤(rùn)滑油的方法:
1)松開泵底部緊固由池的固定螺釘,取下油池, 倒出油池內(nèi)的廢油;
2)使用中性洗滌劑刷洗油池, 注意要將雜質(zhì)和污物清理干凈, 然后擦干(充分療干,不能留有水珠) ;
3)重新注油方法與新泵注油方法相同。
警告:
更換下來(lái)廢棄的潤(rùn)滑油按當(dāng)?shù)胤煞ㄒ?guī)處理。
脂潤(rùn)滑型分子泵終生不需要更換潤(rùn)滑脂,如果抽承出現(xiàn)問(wèn)題只能返廠維修 !
3、清洗泵
如果排除真空系統(tǒng)漏氣或真空控體虧染嚴(yán)重等原因.在對(duì)泵長(zhǎng)時(shí)間烘烤后仍不能灰復(fù)其真空性能,則斷定泵已被污染,必須對(duì)泵進(jìn)行清洗。
分子泵只能由泰諾或泰諾指定的維修中心專業(yè)人員拆泵和清流。
4、軸承更換
合格的分子泵出廠前都經(jīng)過(guò)專門儀器的整機(jī)動(dòng)平衡校驗(yàn).更換軸承后需要重新校動(dòng)平衡,因上只能由泰諾公司或泰諾指定的維修
中心來(lái)完成,嚴(yán)禁用戶未經(jīng)授權(quán)私自拆泵。
警告:
更換下來(lái)的報(bào)廢器件以及廢棄清洗液按當(dāng)?shù)胤煞ㄒ?guī)處理,
5、從真空系統(tǒng)上拆泵
當(dāng)泵出現(xiàn)故障而必須以系統(tǒng)上將泵拆下來(lái)時(shí),應(yīng):
確定泵處在停機(jī)狀態(tài),內(nèi)外氣壓平衡 ;
如果真抽除的是腐蝕性氣體,確認(rèn)真空腔,泵體內(nèi)、前級(jí)管道內(nèi)屬性性氣體已被充分沖洗干凈,泵內(nèi)沉積物同樣對(duì)人體有害,必要時(shí),拆卸人員應(yīng)戴防毒面具、戴手套。泵卸下后,應(yīng)盡快除去沉積物,以防上沉起物與潮濕空氣反應(yīng)生成揮發(fā)物或?qū)?/span>泵有腐蝕的酸、堿等。
泵卸下后,應(yīng)立即用封閉的塑料袋包裝起來(lái)。