TN-SPC-HUA6全自動超聲波輔助氣氛加熱勻膠機是一種小型、靈活的旋轉勻膠設備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件，可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內，在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。
此款勻膠機適用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆。可勻膠*大圓晶尺寸為6英寸，轉速可達10000rpm，加速度可達5000rpm；具有轉速穩(wěn)定，啟動迅速，操作方便等優(yōu)點，并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性，是一款性能優(yōu)良的產品。

名稱	全自動超聲波輔助氣氛加熱勻膠機
型號	SPC-HUA6
特征	采用直流無刷電機，單片機控制 高清晰觸摸屏控制 可進行單步多步勻膠操作，可存儲五種程序，每種程序可設置五步操作 防堵膠設計 鋁合金腔體，堅固耐用 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進行多種輔助
勻膠機	圓晶尺寸 6英寸 旋轉速度 100~10000rpm可調 旋轉加速度 100~5000rpm/s可調 單次*長勻膠時間 3000s 勻膠腔體尺寸 Φ200mm* 90mm 電壓 220V 50Hz 功率 400W 加熱溫度 0-100℃ 質保時間 易損件除外，1年，終身技術支持
超聲波系統(tǒng)	霧化頭材質 鈦合金 頻率 40kHz 功率 130W 流量 0.55mL/s 微粒直徑 25um 霧化頭類型 錐型 霧化頭重量 0.3kg 超聲波電源尺寸 315*312*135mm 超聲波電源重量 5kg
注射泵	流量范圍 0.001uL/min-43.349mL/min 掉電記憶工能 保存設置參數(shù)，重新上電后，無需設置 適用進樣器規(guī)格 10uL-1000uL 適用注射器規(guī)格 1mL-60mL 線速度范圍 5um/min-65um/min 線速度調節(jié)分辨率 5um/min *大行程 140mm 行程分辨率 0.156um 額定線性推力 ＞90N
流量計	控制氣體種類 2種 氣體流速 16-160mL/min